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HA-S48 32/HMT 山西 热式气体质量流量控制器

HA-S48 32/HMT   山西 热式气体质量流量控制器

 1.热式气体质量流量控制器    型号;HA-S48 32/HMT
编号
项目
S48 32/HMT
1
流量规格
(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min;
(1,2,3,5,10,20,30)L/min
2
调节阀类型
电磁调节阀
3
调节阀静止状态
常闭
4
安装方向
5
流量控制范围
2%-
6
流量测量范围
(0-100)%
7
零点温漂
0.6%F.S.(15~35℃)
8
响应时间 
2s(T98,设定值的±2%F.S.)
9
作环境温度
5~50℃
10
度温度
15~35℃
11
±1.0%F.S
12
线性
±0.5%F.S
13
重复度
±0.2%F.S
14
作压差范围
~5L/min:(0.05-0.3)MPa
10L/min~30L/min:(0.1-0.3)MPa
15
耐压
3MPa
16
漏率
1×10-8Pa.m3/s(He)
17
管路接头
1/4″Swagelok,Φ6mm-Φ10mm
18
供电电源
±15VDC(±5%) +15V,100mA;-15V, 200mA
19
设定信号
(0-5)VDC 
输入阻抗>1MΩ
20
流量输出信号
(0-5)VDC
负载输出电流能力≤3mA
21
电气接头
D-SUB15
22
尺寸 (mm)
113(宽)×121()×32(厚









2.电脑控制旋转涂层机/匀胶机匀胶台 甩胶机、旋涂仪 型号;HAD-C108

产品型号:HAD-C108
产品简介:主要用于液体,胶体的成膜性能试验,表面涂覆艺。
"spin coater "    行业称:匀胶机 匀胶台 甩胶机、旋涂仪 旋转涂膜机 旋涂机
主要特点:
       *电脑控制,可预置并记忆转速,控制转盘均匀加速;
                        旋转时间预置,到时,控制转盘均匀减速。 
       *转速:300– 8000转/分. ( 100转/步 ,调整 )
       *电脑闭环控制电机,转速±0.5转/分.方便实验效果重现. 
       *机械三爪式装夹。装夹,可意装夹¢50—100mm片。
       *机械四爪式装夹。装夹方形,矩形片,(可选购件)
       *机械微型夹板装夹,
           可以装夹微小的圆形,方形,矩形,六角形,等异形薄片。(可选购件)
       * 排除了因真空吸附不牢,成飞片的可能。
       *去除了真空泵,节约了您的金钱,减少了环境噪声。    
       *作腔可拆卸,方便清洗.
       *作腔透明, 方便观察成膜过程。                             
       *结构设计无皮带,无碳刷, 没有因常时间远行而需要换的易损件。
         其明显效果是:机械噪音低,满足实验室要求.运行平稳。
         在此我们遵循了机械设计中,等寿命设计理论。
         保障了用户可以放心使用。                                     
       *透明作腔密闭涂层实验,无液体、胶状体飞溅,作环境卫生,安。
术参数:
        旋转盘直径:120mm。可意装夹¢50—100mm片
        旋转盘zui转数:8000r/min。
        可调数显转数:300 - 8000 转。可设定时间:1 - 99分。
标准包装:尺寸: 250mm宽 x 300mm深 x 215 mm , 重量: 9 kg
产品用途:将液体、胶状体等材料在衬底上成膜












3.匀胶机/烘胶台/烤胶机 型号:HAD-J18
产品概述:
烤胶机  hot plate 又名烘胶台,烤胶机,热板,热台。HAD-J18烤胶机,主要用于光刻艺中的旋转涂胶后的软烘,曝光后烘烤,显影后的坚膜,磨片粘片熔蜡。
 
HAD-J18型烤胶机,产品体积小,重量轻,升温快,节能。
能满足各种用户的样品处理实验。
与传统的烘箱相比,利用烤胶机固化膜层的有:
(1)烘烤时间减少;
(2)重复性;
(3)对薄膜的固化效果好。
 
HAD-J18烤胶机整个面板温度均匀,对基片膜层固化效果非常好。由于固化是从下往上,所以不会产生皮肤效应。这种“由里而外”的固化方式尤其适合较厚的膜层,因为靠近基片的膜层会固化好,然后是膜层靠外的分。该款烤胶机由于升温迅速,所以产量较。烘烤时间用秒计算,而不是像传统烘箱用分钟或者小时计算。
 
主要特点:
外形小巧,330mm*230mm*115mm
加热盘尺寸 :Φ185mm
加热板均性好。
升温快,能满足室温----200℃。
控制温度。能控制小数点后的细微温度差异,如 113.4 ℃   温差 ±0.1℃
烘胶采用温控仪PID调节,具有烘胶速度快、均匀、控温度等特点, 并可长时间连续稳定作.
校学生操作简便,能成。
 
术参数:
输出率: 1500 W
输入电压: 220V   50HZ
温度控制强: 能控制小数点后的细微温度差异,如 115.5 ℃   温差 ±0.1℃
温度控制范围:能满足室温----200℃。
外壳材质:不锈钢。
防腐蚀性能:良好。
加热区域尺寸:Φ185mm







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