四探针电阻率/方阻测试仪（以下简称电阻率测试仪）是用来测量半导体材料（主要是硅单晶、锗单晶、硅片）电阻率，以及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。它主要由电气测量份（简称：主机）、测试架及四探针头组成。
本仪器的特点是主机配置双数字表，在测量电阻率的同时，另块数字表（以分之几的度）适时监测程的电流变化，免除了测量电流/测量电阻率的转换，及时掌控测量电流。主机还提供度为0.05%的恒流源，使测量电流度稳定。本机配有恒流源开关，在测量某些箔层材料时，可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生，好地保护箔膜。仪器配置了本公司的产品：“小游移四探针头”，探针游移率在0.1～0.2%。了仪器测量电阻率的重复性和度。本机如加配HQ-710E数据处理器，测量硅片时可自动行厚度、直径、探针间距的修正，并计算、打印出硅片电阻率、径向电阻率的zui大百分变化、平均百分变化、径向电阻率不均习庋。给测量带来很大方便。
2、主机术能数
（1）测量范围：
可测电阻率：0.0001～19000Ω•cm
可测方块电阻：0.001～1900Ω•□
（2）恒流源：
输出电流：DC 0.001～100mA 五档连续可调
量程：0.001～0.01mA
0.01～0.10mA
0.10～1.0mA
1.0～10mA
10～100mA
恒流度：各档均低于±0.05%
（3）直流数字电压表：
测量范围：0～199.99mV
灵敏度：10μV
基本误差：±（0.004%读数+0.01%满度）
输出电源：≥1000ΩM
（4）供电电源：
AC 220V±10% 50/60 Hz 率：12W
（5）使用环境：
温度：23±2℃ 相对湿度：≤65%
无较强的电场干扰，无强光直接照射
（6）重量、体积：
主机重量：7.5kg
体积：365×380×160（单位：mm 长度×宽度×度）

备注：
等测量时（测电阻率），度<3%
电气测量时（测电阻），度在0.3%以内

备注：
仪器包括：主机台；测试架（包括台面）个；四探针头1个；软件

GSZ-RTS-4型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法标准并参考美 A.S.T.M 标准而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。
    仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。
    仪器采用了新电子术行设计、装配。具有能选择直观、测量取数快、度、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。
    本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、等院校对半导体材料的电阻性能测试。
GSZ-RTS-4型四探针软件测试系统是个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序，通过此测试程序辅助使用户简便地行各项测试及获得测试数据并对测试数据行统计分析。
    测试程序控制四探针测试仪行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel中，让用户对数据行各种数据分析
术参数：

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