产品特点 
四探针测试仪是根据单晶硅物理测试方法标准并参考美A.S.T.M 标准设计的半导体材料电阻率及方块电阻（薄层电阻）测试专用仪器。 
仪器以大规模集成电路为核心件，采用旋扭式开关控制，及各种作状态LED示。应用微计算机术，使得测量读数加直观、快速。整套仪器体积小、耗低、测量度、测试速度快、稳定性好、易操作。 
 数字式四探针测试计/数字式四探针测试仪 　型号：SZB-SX1934

测量范围 电阻率/Range：10-4—105Ω/□(可扩展/extended range) 方块电阻(薄层电阻) /Sheet resistance：10-3—106Ω/□ 电阻/resistance：10-6—105Ω 
可测晶片直径（zui大） φ100mm(标配)，方形230×220mm(zui大) 
zui大电阻测量误差(按JJG508-87)
0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±0.3%读数±2个字 
外形尺寸 400mm×440mm×120mm 
仪器重量 电气主机：约4kg 　　测试台：约5kg 
测试环境 温度：23±2℃ 相对湿度：≤65％； 无频干扰 无强光照射 
电源 220V±10%(50Hz) 耗≤35W 
备注 具备电脑接口 

 数字式四探针测试计/数字式四探针测试仪 　型号：SZB-SX1934



探头 
SZB-Sx系列四探针探头是采用综合性能的分子材料、耐磨和硬度的探针研制的测量数据稳定、、度、耐用性能好四探针探头。所有术标符合标准，同时符合ASTM标准有关规定。 
间距：1±0.01mm； 针间缘电阻≥1000MΩ； 机械游移率:≤1.0%；
探针压力：TZT-9A/9B: 12-16牛顿（总力） TZT-9C/9D 5-8 牛顿（总力）

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