CH-WSP-6型半导体电阻率测试仪是专用于各种半导体材料包括:片状硅料、晶体、晶体等的电阻率测定的设备,测定范围:0.01-199.99欧姆厘米，是生产厂家硅料分选测试的理想具。

1、 主要术标:

电源：220V交流

可测晶片直径（zui大）Ф100mm,方形230×220mm

恒流源：电流量程为0.01～1mA连续可调，误差≦±0.5%。

数字电压表：量程：0.1～200mV,zui大分辨率：100μV

电阻率显示：三位半数字显示：小数点、性、过载、自动显示0.01-199.99欧姆。厘米

输入抗阻：0.2mV和2mV量程：＞108Ω

测量度：±0.1。

zui大电阻测量误差（按JJG508-87行）：0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±5%读数±2个字。

重掺检测误差（JJG508-87行）：1Ω≤±1%、0.5Ω≤±0.5%、0.1Ω≤±0.1%

测量环境：温度23±2℃，相对湿度≤65%

2、操作程序：

  1、连好电源，打开后面板电源开关，电源示灯亮，表示待机毕。

  2、校准设备：厚度小于3.98mm取与要备测试硅材料厚度相同的硅材料标准样块校准电阻率测试仪，测试厚度大于3.98mm的硅材料可取厚度大于3.98mm的标准样块校准电阻率测试仪

  3、测试：用四探针接触硅材料，以探针压下三分之二为准，待仪器显示数字稳定即可，

  4校验：在测试过程中要求2小时用标准样块校准次设备，

3、 针组件;维护及注意事项:

  1、般情况下,除了信号传输线的断裂引起的故障外, 针的维护主要包括针头的换和针头的清理清洁作

  2、维护后的安装及维护过程中,须注意安装过程中的排线位置,按绿红黄黑（1234）位置排列

2.经济型数字压力表/压力表 型号:LP-DPGA系列

测量介质：空气和兼容性气体
接液材质：316L不锈钢，硅传感器
外壳材质：ABS
度：±1.0% F.S.（包括线形、迟滞性、重复性）
压力限：2X满量程，真空量程的zui大耐压是30PSIG。
温度限：30 to 120°F (-1 to 49°C).
热漂移：0.05% FS/°F.
尺寸：2.62"O.D. x 1.52"长度.
过程连接：1/4"male NPT.
显示：4-digit LCD(.425"H x .234"W digits).
电源要求：9V碱性电池。包括在内但是没有连接
自动断电：20分钟自动断电
重量：5.6 oz (160 g).
认证：CE.

3.经济型数字压力表/压力表 型号:LP-DPGW系列

测量介质：兼容性液体和气体
接液材质：316L不锈钢
外壳材质：ABS塑料
度：±1.0% F.S.（包括线形、迟滞性、重复性）
压力限：2X满量程，真空量程的zui大耐压是30PSIG。
温度限：30 to 120°F (-1 to 49°C).
热漂移：0.05% FS/°F.
尺寸：2.62" O.D. x 1.52"长度.
过程连接：1/4"male NPT.
显示：4-digit LCD(.425"H x .234"W digits).
电源要求：9V碱性电池。包括在内但是没有连接
自动断电：20分钟自动断电
重量：5.6 oz (160 g).
认证：CE.

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