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射频磁控溅射镀膜装置可开设的实验

发布时间：2015-05-25

射频磁控溅射镀膜装置可开设的实验:

1、掌握射频磁控溅射法制膜的基本原理；

2、了解磁控溅射镀膜仪的操作过程及使用范围；